Unternehmensnachrichten und neue Produkte Helium-Rückgewinnungsanlagen zur Reduktion von Heliumkosten Asslar, 3. Juli 2013 - Minimierung der Betriebskosten - Ressourcenschonende und effiziente Prozesse - Unabhangig von angeschlossenen Prufsystemen Das Prüfgas Helium ist ein bedeutender Rohstoff, der für die Lecksuche in kundenspezifischen Dichtheitsprüfsystemen verwendet wird. Um Prozessabläufe so effizient und ressourcenschonend wie möglich zu gestalten, hat Pfeiffer Vacuum Anlagen zur Heliumrückgewinnung entwickelt. Diese Helium-Rückgewinnungsanlagen machen das zur Lecksuche genutzte Gas nach Ablauf der Prüfung wiederverwertbar. Das Helium wird somit für die erneute Nutzung zurückgewonnen.    mehr HERMETIC-Pumpen GmbH als „bekannter Versender“ qualifiziert Gundelfingen, den 08.08.2013 Um schnellstmöglich reagieren zu können, hat HERMETIC nicht nur die Fertigung, Bearbeitung und Verpackung dieser dringlichen Aufträge optimiert, sondern ebenfalls die Versendung: Mit der Qualifizierung durch das Luftfahrt- Bundesamt als „bekannter Versender“ können direkt im Fertigungsstandort Gundelfingen Ersatzteile, oder auch komplette Pumpen, luftfrachtfertig verpackt und versandfertig gemacht werden.    mehr Pfeiffer Vacuum stellt neues trockenes Verfahren zur Überwachung von Partikelverunreinigungen ADPC 302 vor Asslar, 3. Juli 2013 - Effiziente Überwachung von Partikeln in FOUPs und FOSBs in der Halbleiterproduktion - Einzigartig schnelle und trockene Methode - Komplett automatisiert und in den Prozess integriert Dieses innovative Produkt misst die Anzahl der Partikel in Wafer-Transportboxen (Front Opening Unified Pod, kurz FOUP, sowie Front Opening Shipping Box, kurz FOSB).    mehr VACOM ist ZIM-Preisträger 2013 Jena, 22. Mai 2013 Als einziges Thüringer Unternehmen ist der Jenaer Vakuumspezialist vor wenigen Tagen mit dem ZIM-Preis 2013 für herausragende wirtschaftliche Ergebnisse durch das Bundesministeriums für Wirtschaft und Technologie (BMWi) ausgezeichnet worden. Mit dem Entwicklungsprojekt "Precision & Purity. Herstellung von ausgasarmen und partikelarmen Vakuumkomponenten" zählt VACOM zu den innovativen Preisträgern des Jahres 2013. Die Auszeichnung wurde vom Parlamentarischen Staatssekretär beim BMWi Ernst Burgbacher zum 20. Innovationstag Mittelstand in Berlin überreicht.    mehr Pfeiffer Vacuum stellt die neuen zweistufigen Drehschieberpumpen der DuoLine vor Comvac 2013, 8. April 2013 Die neuen zuverlässigen, zweistufigen Drehschieberpumpen DuoLine - Betriebssicher und energieeffizient - Lange Lebensdauer - Einfache Systemintegration Pfeiffer Vacuum stellt die neuen zweistufigen Drehschieberpumpen der DuoLine vor. Die kompakten Vakuumpumpen zeichnen sich durch ein neu entwickeltes Pumpsystem und eine optimierte Kühlung aus. Diese Eigenschaften haben einen signifikanten Einfluss auf die Lebensdauer der Pumpen. Die langen Wartungs-intervalle, die energieeffizienten Motoren und die optionale Ölrückführung senken die Betriebskosten auf ein niedriges Niveau.    mehr Pfeiffer Vacuum stellt neuen Lecksucher ASM 340 vor Comvac 2013, 8. April 2013 - Zuverlässige Lecksuche zur Qualitätssicherung - Kurze Zykluszeiten und hoher Teiledurchsatz - Hohe Leistung bei einfacher Bedienung Der neue ASM 340 ist ein leistungsstarker und strapazierfähiger Lecksucher für die zuverlässige Qualitätssicherung. Das breite Anwendungsspektrum erstreckt sich von industriellen und analytischen Applikationen über Forschung & Entwicklung bis hin zum Beschichtungsmarkt. Der kompakte Lecksucher ist sowohl in Serienproduktionen als auch für Wartungsaufgaben einsetzbar.    mehr Hoffman & Lamson werden bei Gardner Denver Nash organisatorisch eingegliedert Nürnberg, 11. März 2013 Gardner Denver hat seine Aktivitäten im Bereich „Engineered Systems“ neu strukturiert: Mit Wirkung vom 01. Januar 2013 wurde die Produktgruppe CF (Multistage Centrifugal Blowers / Mehrstufige Zentrifugalgebläse) von Gardner Denver und hier die Marken Hoffman und Lamson, organisatorisch in die Gardner Denver Nash Division eingegliedert.    mehr Hermetische Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen in Titan und Hastelloy Gundelfingen, Germany, March 6, 2013 HERMETIC-Pumpen GmbH liefert seine Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen, sowie die dazugehörigen Anlagen und Package Units, auch in metallischen Sonderwerkstoffen wie Titan und Hastelloy.   Neben der klassischen gleitringgedichteten Variante sind ebenfalls hermetische Antriebe, ausgeführt als Spaltrohrmotor oder Magnetkupplung, im Angebot.    mehr Pfeiffer Vacuum stellt energiesparende Trockenläufer A 100 L ES vor Asslar, 23. Januar 2013 - Bis zu 50 Prozent niedrigerer Energieverbrauch - Geringe Abmessungen und hohes Saugvermögen - Vakuumpumpe: Ideal für saubere Prozesse Die Trockenläufer A 100 L mit ihren kompakten Abmessungen wurden speziell zur flexiblen Integration in Halbleiterproduktionsanlagen entwickelt. Diese ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen sind ideal für saubere Anwendungen wie Schleusen- und Transferkammern sowie für alle anderen nicht korrosiven Anwendungen.    mehr Helium-Rückgewinnungsanlagen zur Reduktion von Heliumkosten Asslar, 3. Juli 2013 - Minimierung der Betriebskosten - Ressourcenschonende und effiziente Prozesse - Unabhängig von angeschlossenen Prüfsystemen Das Prüfgas Helium ist ein bedeutender Rohstoff, der für die Lecksuche in kundenspezifischen Dichtheitsprüfsystemen verwendet wird. Um Prozessabläufe so effizient und ressourcenschonend wie möglich zu gestalten, hat Pfeiffer Vacuum Anlagen zur Heliumrückgewinnung entwickelt. Diese Helium-Rückgewinnungsanlagen machen das zur Lecksuche genutzte Gas nach Ablauf der Prüfung wiederverwertbar. Das Helium wird somit für die erneute Nutzung zurückgewonnen. Insbesondere im Hinblick auf Umweltzertifizierungen gemäß DIN EN ISO 14001 und Ressourceneinsparungen bietet sich die Rückgewinnung von bereits verwendetem Helium an. Die Helium-Rückgewinnungsanlagen sind als Stand-Alone-Systeme konzipiert und gewinnen unabhängig von den angeschlossenen Dichtheitsprüfsystemen das Prüfgas Helium zurück. Bei Heliumkonzentrationen zwischen 10 und 95 Prozent können je nach Prozessbedingungen bis zu 98 Prozent des Edelgases zurückgewonnen werden. Grundsätzlich sind zwei Prinzipien der Heliumrückgewinnung lieferbar: Die Ballon-Rückgewinnung und die Kessel-Rückgewinnung. Darüber hinaus können auf Anfrage auch alternative, auf spezielle Kundenanforderungen zugeschnittene Lösungen realisiert werden. Pfeiffer Vacuum entwickelt und produziert Helium-Dichtheitsprüfsysteme für Anwendungen, in denen gleichzeitig hoher Produktionsdurchsatz gefordert ist und Dichtheit der Teile garantiert werden muss. Zudem bietet das Unternehmen ein breites Portfolio an Lecksuchgeräten mit Helium oder Wasserstoff als Prüfgas für ein großes Anwendungsspektrum an. Pfeiffer Vacuum GmbH - www.pfeiffer-vacuum.com - Berliner Str. 43, 35614 Aßlar, Deutschland Sabine Neubrand-Trylat, email: info@pfeiffer-vacuum.de, Tel. +49 (0)6441 802-0 HERMETIC-Pumpen GmbH als „bekannter Versender“ qualifiziert Gundelfingen, den 08.08.2013 HERMETIC Pumpen verrichten Jahre, oft jahrzehntelang zuverlässig ihren Dienst. Die Spaltrohrmotorpumpen sind für ihre Betriebssicherheit und hohe Mean Time Between Failure (MTBF) bekannt. In der Praxis hat sich gezeigt, dass die MTBF bis zu viermal höher ist als die vergleichbarer konventionell gedichteter Pumpen. Sollte doch einmal eine Pumpe ausfallen, ist die Dringlichkeit der Ersatzteillieferung jedoch immens. Im schlimmsten Fall drohen Produktionsausfälle oder der Stillstand ganzer Anlagenteile. Um schnellstmöglich reagieren zu können, hat HERMETIC nicht nur die Fertigung, Bearbeitung und Verpackung dieser dringlichen Aufträge optimiert, sondern ebenfalls die Versendung: Mit der Qualifizierung durch das Luftfahrt- Bundesamt als „bekannter Versender“ können direkt im Fertigungsstandort Gundelfingen Ersatzteile, oder auch komplette Pumpen, luftfrachtfertig verpackt und versandfertig gemacht werden. Aus dem Werk geht es dann, transportiert vom ebenfalls qualifizierten Spediteur, direkt ins Flugzeug. Dafür sind nicht nur die einzelnen Mitarbeiter geschult worden, es werden auch spezielle Packmittel verwendet, die den luftsicherheitstechnischen Ansprüchen gerecht werden. Zusätzlich wurde in die Sicherheit investiert: Der Zugang zum Werk ist nur noch mit gültigem Ausweis möglich, in speziell gesicherten Bereichen werden die Aufträge gepackt und versandfertig gemacht. „Wir sparen damit bis zu einer Woche im Vergleich zur Abwicklung über externe Dienstleister, da alle weiteren Kontrollen z.B. an Flughäfen entfallen“, berichtet E. Jakob, Leiter des HERMETIC Versands. HERMETIC-Pumpen GmbH - www.hermetic-pumpen.com - Gewerbestr. 51, 79194 Gundelfingen, Deutschland email: huelse.martin@hermetic-pumpen.com, Tel. +49 761 5830-0 Pfeiffer Vacuum stellt neues trockenes Verfahren zur Überwachung von Partikelverunreinigungen ADPC 302 vor Asslar, 3. Juli 2013 - Effiziente Überwachung von Partikeln in FOUPs und FOSBs in der Halbleiterproduktion - Einzigartig schnelle und trockene Methode - Komplett automatisiert und in den Prozess integriert Das ADPC 302 von Pfeiffer Vacuum ist ein einzigartiges produktionsbegleitendes Kontaminationsmanagementsystem zur Überwachung von Partikelverunreinigungen in der Halbleiterindustrie. Dieses innovative Produkt misst die Anzahl der Partikel in Wafer-Transportboxen (Front Opening Unified Pod, kurz FOUP, sowie Front Opening Shipping Box, kurz FOSB). Das patentierte vollautomatische Verfahren erkennt und zählt Teilchen auf der Oberfläche der Trans-portboxen einschließlich der Türen. Partikel in Submikrometergröße können auf den Wafern Schäden verur-sachen, die zu einem beträchtlichen Ausbeuteverlust führen. Schon kleinste Teilchen mit einer Stärke im Bereich von 0,1 µm sind oft die Ursache für Beschädigungen der Strukturen der Halbleiterchips. Das System wurde von führenden Halbleiterherstellern qualifiziert und kann sowohl in der Serienproduktion als auch zu Analysezwecken im Bereich Forschung & Entwicklung eingesetzt werden. Anwendungsschwerpunkte sind neben der Transportbox-Charakterisierung eine Optimierung der Dekontaminationsstrategie sowie die Qualitätskontrolle der Reinigung. Das trockene Verfahren (Dry Particle Counter) des ADPC zeigt ein-deutige Vorteile gegenüber der herkömmlichen nassen Methode (Liquid Particle Counter). Der Hauptvorteil des trockenen Prinzips liegt darin, dass die Partikelmessung vollautomatisch abläuft. Sie ist in den Her-stellungsprozess eingebunden und muss nicht außerhalb der Produkti-onszeit durchgeführt werden. Durch diese vollautomatische Messung ist kein zusätzlicher Bediener erforderlich. Die Testdauer beträgt nur sieben Minuten. Damit ist das ADPC 302 viermal schneller als herkömmliche Systeme. Es können bis zu acht Transportboxen innerhalb einer Stunde geprüft werden. Das System ADPC 302 zur Überwachung von Partikelverunreinigungen ergänzt das Angebot von Pfeiffer Vacuum an Lösungen zum Kontaminationsmanagement für die Halbleiterindustrie. Die weiteren Systeme FOUP Analyzer APA und FOUP Regenerator APR dienen zur Überwachung und Dekontamination von molekularer Verunreinigung. Der Automatisierungsstandard SECS/GEM wird durch alle drei Systeme unterstützt. Pfeiffer Vacuum GmbH - www.pfeiffer-vacuum.com - Berliner Str. 43, 35614 Aßlar, Deutschland Sabine Neubrand-Trylat, email: info@pfeiffer-vacuum.de, Tel. +49 (0)6441 802-0 VACOM ist ZIM-Preisträger 2013 Jena, 22. Mai 2013 Als einziges Thüringer Unternehmen ist der Jenaer Vakuumspezialist vor wenigen Tagen mit dem ZIM-Preis 2013 für herausragende wirtschaftliche Ergebnisse durch das Bundesministeriums für Wirtschaft und Technologie (BMWi) ausgezeichnet worden. Mit dem Entwicklungsprojekt "Precision & Purity. Herstellung von ausgasarmen und partikelarmen Vakuumkomponenten" zählt VACOM zu den innovativen Preisträgern des Jahres 2013. Die Auszeichnung wurde vom Parlamentarischen Staatssekretär beim BMWi Ernst Burgbacher zum 20. Innovationstag Mittelstand in Berlin überreicht. VACOM hat Technologien und Anlagen geschaffen um die hohen Anforderungen an ein hochreines Vakuum, insbesondere für Anwendungen im Ultra-Clean-Vacuum (UCV), zu erfüllen. Im Rahmen eines zweijährigen Projekts wurden kosteneffiziente Prozesse für die Reinigung und Qualifizierung von Vakuumkomponenten entwickelt. ZIM - Zentrale Innovationsprogramm Mittelstand ist ein bundesweites, technologie- und branchenoffenes Förderprogramm im Rahmen der Innovationsförderung des Bundesministeriums für Wirtschaft und Technologie für mittelständische Unternehmen und mit diesen zusammenarbeitende wirtschaftsnahe Forschungseinrichtungen. VACOM Vakuum Komponenten & Messtechnik GmbH - www.vacom.de - Gabelsbergerstraße 9, 07749 Jena, Deutschland email: info@vacom.de, Tel. 03641 4275-0 Pfeiffer Vacuum stellt die neuen zweistufigen Drehschieberpumpen der DuoLine vor Comvac 2013, 8. April 2013 Die neuen zuverlässigen, zweistufigen Drehschieberpumpen DuoLine - Betriebssicher und energieeffizient - Lange Lebensdauer - Einfache Systemintegration Pfeiffer Vacuum stellt die neuen zweistufigen Drehschieberpumpen der DuoLine vor. Die kompakten Vakuumpumpen zeichnen sich durch ein neu entwickeltes Pumpsystem und eine optimierte Kühlung aus. Diese Eigenschaften haben einen signifikanten Einfluss auf die Lebensdauer der Pumpen. Die langen Wartungs-intervalle, die energieeffizienten Motoren und die optionale Ölrückführung senken die Betriebskosten auf ein niedriges Niveau. Das integrierte, hydraulisch gesteuerte Hochvakuum-Sicherheitsventil erhöht die Betriebssicherheit. Die reduzierte Baugröße, das geringere Gewicht und die Positionierung der Vakuumanschlüsse auf der Oberseite gewährleisten eine einfache Systemintegration der Pumpen. Die Pumpen der DuoLine werden mit herkömmlichem Radial-Wellendichtring oder auch mit Magnetkupplung angeboten. Das innovative Antriebskonzept macht die magnetgekuppelten Drehschieber-pumpen hermetisch dicht. Die Betriebskosten der magnetgekuppelten Pumpe sind sehr gering, da sie nahezu wartungsfrei sind. Die DuoLine deckt zahlreiche Anwendungen im Grob- und Feinvakuumbereich ab. Pfeiffer Vacuum GmbH - www.pfeiffer-vacuum.com - Berliner Str. 43, 35614 Aßlar, Deutschland Sabine Neubrand-Trylat, email: info@pfeiffer-vacuum.de, Tel. +49 (0)6441 802-0 Pfeiffer Vacuum stellt neuen Lecksucher ASM 340 vor Comvac 2013, 8. April 2013 - Zuverlässige Lecksuche zur Qualitätssicherung - Kurze Zykluszeiten und hoher Teiledurchsatz - Hohe Leistung bei einfacher Bedienung Der neue ASM 340 ist ein leistungsstarker und strapazierfähiger Lecksucher für die zuverlässige Qualitätssicherung. Das breite Anwendungsspektrum erstreckt sich von industriellen und analytischen Applikationen über Forschung & Entwicklung bis hin zum Beschichtungsmarkt. Der kompakte Lecksucher ist sowohl in Serienproduktionen als auch für Wartungsaufgaben einsetzbar. Er ist in herkömmlicher oder in ölfreier Version erhältlich. Sowohl die qualitative Lokalisierung von Lecks als auch die quantitative integrale oder lokale Prüfung sind mit dem neuen Lecksuchgerät ASM 340 möglich. Er besticht durch sein leistungsfähiges Vakuumsystem, das eine sehr schnelle Betriebsbereitschaft garantiert. Des Weiteren zeichnet er sich durch eine schnelle Ansprechzeit aufgrund des hohen Helium-Saugvermögens aus. Diese Merkmale führen zu kurzen Zykluszeiten und zu einem hohen Teiledurchsatz. Der ASM 340 ist als einziger Lecksucher seiner Klasse auf dem Markt in der Lage, Lecks bereits ab 100 hPa zu lokalisieren. Eine große Auswahl an Schnittstellen ermöglicht die einfache Integration in Produktionslinien. Das abnehmbare Bedienelement und die optionale Schnüffelsonde mit LEDs erleichtern die Arbeit. Eine Aufzeichnung und eine Auswertung von Messdaten sind über eine SD-Karte möglich. Die kabellose Fernbedienung lässt eine Bedienung bis zu einer Distanz von 100 Metern zu. Dank der robusten Konstruktion und des minimalen Wartungsaufwands reduzieren sich die Servicekosten. Der ASM 340 kann mit umfangreichem Zubehör auf spezifische Anwendungen abgestimmt werden. Ein spezieller Transportwagen ermöglicht auch einen mobilen Einsatz des Geräts. Bereits vorhandenes Zubehör für die Lecksucher der Serien ASM und HLT ist ebenfalls mit dem neuen Gerät kompatibel. Begleitend zur Markteinführung des ASM 340 stellt Pfeiffer Vacuum das Handbuch Leak Detection Compendium vor. Dieses Kompendium bietet gebündeltes Fachwissen zu Lecksuche und Dichtheitsprüfung. Pfeiffer Vacuum GmbH - www.pfeiffer-vacuum.com - Berliner Str. 43, 35614 Aßlar, Deutschland Sabine Neubrand-Trylat, email: info@pfeiffer-vacuum.de, Tel. +49 (0)6441 802-0 Hoffman and Lamson become part of the Gardner Denver Nash division Nuremberg, March 11, 2013 Nash Division mit erweitertem Portfolio Gardner Denver hat seine Aktivitäten im Bereich Engineered Systems neu strukturiert: Mit Wirkung vom 01. Januar 2013 wurde die Produktgruppe CF (Multistage Centrifugal Blowers / Mehrstufige Zentrifugalgebläse) von Gardner Denver, und hier die Marken Hoffman und Lamson, organisatorisch in die Gardner Denver Nash Division eingegliedert. Die Marke NASH steht für über 100 Jahre Erfahrung in der Produktion von Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen und Kompressoren, HOFFMAN & LAMSON ist Hersteller von Mehrstufigen Zentrifugalgebläsen. Ein wichtiger Schwerpunkt beider Marken ist das Engineering und die Lieferung von kundenspezifischen Vakuum und Kompressorsystemen. Die Unternehmen sind mit einer breiten Produktpalette weltweit vertreten. Vakuum- und Kompressorsysteme von Nash sowie von Hoffman & Lamson arbeiten jahrzehntelang zuverlässig in der Chemischen Prozesstechnik und bei Filteranwendungen, in der Papierindustrie und der Kraftwerkstechnik, in Raffinerien, der Umwelttechnik und in vielen weiteren Anwendungen. Mit der neuen Organisation sollen bedeutende Synergien bei der Konzeption, der Auslegung und dem Bau von Vakuum- und Kompressoranlagen realisiert werden. Durch die Kombination von Vertriebsnetz und Know-how kann die Kommunikation mit den Kunden intensiviert und die Prozesse für alle Partner noch effizienter werden. Für die Geschäftspartner in EMEA bedeutet diese Änderung, dass die Nash Vertriebsorganisation der Ansprechpartner für alle Themen rund um die CF Produkte (Mehrstufige Zentrifugalgebläse) sein wird. Alle Anfragen werden durch das erfahrene Sales Support Team von Hoffman und Lamson in EMEA bearbeitet. Sowohl Lamson (gegründet 1880) als auch Hoffman (gegründet 1905) haben Ihre Wurzeln in den USA und haben eine starke Marktstellung bei vielen Anwendungen in der Abwasserbehandlung. Nach der Akquisition durch Gardner Denver (Lamson 1996; Hoffman 2001) wurden die beiden Marken zusammengefasst und die Marktposition so noch weiter gestärkt. Nash ging 2004 mit der Akquisition durch Gardner Denver aus nash_elmo hervor. Das Unternehmen ist der Erfinder der Flüssigkeitsringpumpe, erste Patente für wurden 1903 bzw. 1905 ausgestellt. www.gardnerdenver.com Hermetische Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen in Titan und Hastelloy Gundelfingen, 6. März, 2013 Die Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe ist eines der Arbeitstiere in der chemischen und petrochemischen Industrie. Die Konstruktion bietet eine nahezu isotherme Verdichtung bei vergleichsweise niedrigen Temperaturen. Polymerisation und andere unerwünschte Reaktionen (Thermisches Cracking, Anbackungen) werden bei diesen Bedingungen größtenteils vermieden. Der namensgebende Ring aus Flüssigkeit wird als dichtendes Element verwendet und macht das System gegen Flüssigkeitsschläge und Tropfen im geförderten Gasstrom, wie sie häufig beim Absaugen von Inerten aus Kondensatoren entstehen, unempfindlich. Die Konstruktion ohne berührende, verschleißende Teile gibt den Kunden das sichere Gefühl der zuverlässigen Verfügbarkeit. Eine hermetisch dichte Ausführung mit Magnetkupplung oder Spaltrohrmotor erhöht nicht nur die Verfügbarkeit - da regelmäßige Gleitringdichtungswechsel entfallen - sondern wird auch bei toxischen Gasen und Fördermedien mit erhöhten Anforderungen nach TA Luft den Kundenwünschen gerecht. In einigen Anwendungen der verfahrenstechnischen Industrie genügt Edelstahl, wie er weitestgehend in diesen Pumpen verbaut wird, nicht den Ansprüchen an Langlebigkeit und Korrosionsfestigkeit der Vakuumpumpen- und Systeme. HERMETIC-Pumpen GmbH liefert deshalb seine Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen, sowie die dazugehörigen Anlagen und Package Units, auch in metallischen Sonderwerkstoffen wie Titan und Hastelloy. Die Vakuumpumpen sind im Leistungsraster von 50 m³/h bis 3000 m³/h Saugvermögen lieferbar. Neben der klassischen gleitringgedichteten Variante sind ebenfalls hermetische Antriebe, ausgeführt als Spaltrohrmotor oder Magnetkupplung, im Angebot. HERMETIC-Pumpen GmbH - www.hermetic-pumpen.com - Gewerbestr. 51, 79194 Gundelfingen, Germany email: huelse.martin@hermetic-pumpen.com, Tel. +49 (0)761 5830-0 Pfeiffer Vacuum stellt energiesparende Trockenläufer A 100 L ES vor Asslar, 23. Januar 2013 - Bis zu 50 Prozent niedrigerer Energieverbrauch - Geringe Abmessungen und hohes Saugvermögen - Vakuumpumpe: Ideal für saubere Prozesse Die Trockenläufer A 100 L mit ihren kompakten Abmessungen wurden speziell zur flexiblen Integration in Halbleiterproduktionsanlagen entwickelt. Diese ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen sind ideal für saubere Anwendungen wie Schleusen- und Transferkammern sowie für alle anderen nicht korrosiven Anwendungen. Trotz ihrer geringen Abmessungen bieten diese Pumpen ein hohes Saugvermögen und kurze Abpumpzeiten. Heute sind die A 100 L Pumpen weltweit in allen führenden Halbleiterfabriken installiert. Die Pumpen sind für den Betrieb im Reinraum geeignet. Die Weiterentwicklung A 100 L ES bietet bis zu 50 Prozent niedrigeren Energieverbrauch (ES = Energy Saving). Im niedrigen Druckbereich ist das Saugvermögen deutlich erhöht. Weitere Vorteile sind ein niedrigerer Enddruck und ein reduzierter Geräuschpegel. Durch das innovative und komplett integrierte ES-Modul verringert sich der Energieverbrauch auf ein Minimum im niedrigen Druckbereich. Dies reduziert die Betriebskosten deutlich. Zur Veranschaulichung: Die jährlichen Einsparungen pro Pumpe betragen bis zu 7.900 kWh. Dies entspricht 3,9 Tonnen CO2. Auf einer Ebene mit 1.300 Schleusenpumpen innerhalb einer typischen Halbleiterfabrik (Fab) für 300-mm-Wafer beträgt die Energieeinsparung bis zu 10 GWh. Dies entspricht rund 360.000 Euro oder 5.100 Tonnen CO2 pro Jahr. Neben der Energieeinsparung kann die A 100 L ES einen Enddruck von 7x10-4 mbar (hPa) erreichen. Somit eröffnen sich neue Möglichkeiten für Anwendungen, die eine höhere Pumpenleistung bei geringem Druck erfordern. Zudem verringert sich der Geräuschpegel von 58 dB (A) auf 55 dB (A). Mit der A 100 L ES wird die Produktfamilie der energiesparenden Prozesspumpen der Serien A3P für mittelschwere und A3H für anspruchsvolle Anwendungen vervollständigt. Pfeiffer Vacuum GmbH - www.pfeiffer-vacuum.com - Berliner Str. 43, 35614 Aßlar, Deutschland email: info@pfeiffer-vacuum.de, Tel. +49 (0)6441 802-0

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