Restgasanalyse

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Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum GmbH - www.pfeiffer-vacuum.com
- Berliner Str. 43, 35614 Aßlar, Deutschland

email: info@pfeiffer-vacuum.de, Tel. +49 (0)6441 802-0

Seit über 120 Jahren setzen wir Maßstäbe in der Vakuumtechnik.
Unser umfassendes Leistungs- und Lieferprogramm reicht von Vakuumpumpen über Mess- und Analysegeräte bis hin zu komplexen Vakuumsystemen. Dabei spielt die Qualität immer die entscheidende Rolle: Produkte von Pfeiffer Vacuum werden durch enge Kooperation mit Kunden aus unterschiedlichen Branchen, kontinuierliche Entwicklungsarbeit und viel Engagement unserer Mitarbeiter permanent optimiert.
Produkte:   PrismaPlus™ mass spectrometer

Quadrupol-Massenspektrometer sind das klassische Messinstrument zur Beurteilung der Restgaszusammensetzung in einem Vakuumsystem.

Die vom Massenspektrometer gelieferten Ionenströme für das Masse-Ladungs-Verhältnis der Gasbestandteile liefern aussagekräftige Informationen über ein Vakuumsystem in den verschiedenen Betriebsphasen, sei es nach dem Aufbau bei der Beurteilung der Dichtigkeit und der Kontaminationsfreiheit oder beim Betrieb eines Vakuumprozesses zu dessen Charakterisierung.
Der Druckbereich, der im Vakuumsystem aufgrund der Auslegung von Vakuumkammer und Pumpsystem erreicht werden kann, bestimmt die Auswahl des Massenspektrometers bezüglich des Detektors. Im Hochvakuum ist oftmals ein Faraday-Detektor ausreichend während im Ultrahochvakuum ein Sekundärelektronenvervielfacher zum Nachweis der äußerst geringen Gasdichten erforderlich ist.






ULVAC Restgasanalyse-Gerät LDS Europe GmbH -
- Lohenstrasse 4, 82166 Gräfelfing, Deutschland

email, Tel.

Seit Anfang 2003 ist die Leak Detektion Service GmbH professioneller Partner von Industrie, Forschung und öffentlichen Einrichtungen wenn es um Helium- oder Luftlecksuche oder Oberflächenmessysteme geht. Haupteinsatzgebiete sind dabei Deutschland, Österreich und die Schweiz sowie Teile der neune, osteuropäischen Länder.
In Service und Reparatur betreuen wir Geräte aller Hersteller wie z.B. ULVAC, VIC/Veeco (auch ältere Systeme), Alcatel/ Adixen, Pfeiffer, Inficon, Varian und Andere. Dabei greifen wir auf die jahrzehntelange Erfahrung unserer Mitarbeiter zurück.
Produkte:   ULVAC Restgasanalyse-Geräte

Qulee CGM Serie (Massen 1-50), Qulee BGM Serie (Massen 1-100), Qulee QCS Software

Qulee (KLEE Ausgesprochen) ist ULVAC's modernstes Gerät zur Restgasanalyse. Genaueste Messungen und beste Auflösung sind schon ab einem Druck von 1 Pa möglich. Die Bedienung ist, typisch für ULVAC, bedienerfreundlich vereinfacht. Hier wurden sehr viele Wünsche der betreiberseitigen Ingenieure verwirklicht.
Wichtigste Innovation im Bereich der Bedienung ist sicherlich das erstmals am Gerät befindliche Display welches Messergebnisse direkt und ohne Verwendung eines externen PC´s anzeigt.


MKS Instruments Restgasanalyse MKS Instruments Deutschland GmbH -
- Schatzbogen 43, 81829 München, Deutschland

email, Tel.

MKS Instruments ist ein weltweit führender Hersteller von Komponenten und Systemen für die Vakuumprozesstechnik.
Wir liefern Komponenten zur Massenflussregelung, Druckmessung und Druckregelung, modulare Einheiten für die Gasversorgung, Vakuumverrohrungen (speziell für die Anforderungen in der Halbleiterindustrie), sowie Systeme zur Prozessüberwachung.
Produkte:   Gas Analyzers - Mass Spectrometry

Quadrupole Mass Spectrometer, Residual Gas Analysis, Process Monitor and Process Control Products

MKS Mass Spectrometry gas analyzer products are innovative in-situ process monitoring instruments that are fully integrated, application-specific packages, including component residual gas analyzers (RGAs), web-enabled RGA's, analytical equipment, and process RGAs and control software.
For general residual gas analysis, the performance of MicroVision Plus residual gas analyzer, coupled to the wide range of configurations available, make it the ideal choice for many different residual gas analyzer applications, including ultra high vacuum (UHV), such as vacuum coatings, accelerators and high energy physics, harsh environments, such as high temperature and ionizing radiation, high performance, research and development for high mass species studies, and high resolution studies, including low molecular weight species studies and helium from Deuterium studies.




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