Systèmes de dépôt de couches minces (Equipements)

   Dépôt de couches minces, Metallisation    Sources Magnetron    Cibles de pulvérisation cathodique    film thickness monitoring    power supply    vacuum chamber    vacuum furnace    heat treatment   

Dépôt de couches minces       

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ALLIANCE CONCEPT - Dépôt sous vide ALLIANCE CONCEPT - www.alliance-concept.com
- 4, Avenue du Pont de Tasset, 74960 Cran Gevrier, France

email: contact@alliance-concept.com, Tel. +33 4 50 57 93 85
Produits:   Dépôt sous vide
Evaporation sous vide, pulvérisation cathodique,
magnétron DC/RF, dépôt en plasma CVD,

gravure, procédés plasma.





AVSIS AVSIS - www.
- 49-51, Bvd Paul Langevin, 38601 Fontaine, France

email

La société Avsis a été créée en 2002 sur la base du transfert, vers Michel Baulé SA, de l'activité "Machines Spéciales Industrielles" d'une filiale de COGEMA.
Cet essaimage a permis, autour d'une équipe de 15 personnes, de pérenniser l'expérience acquise depuis quinze ans au service de l'industrie dans la conception et la fourniture d'équipements mettant en oeuvre les technologies du vide et du soudage.
Produits:   Machines de dépôts sous vide

Pour tous les secteurs industriels, AVSIS conçoit, réalise, met en service vos machines de dépôts physiques en phase vapeur (PVD) par pulvérisation cathodique magnétron (PCM)

En complément à ces réalisations de machines de type "batch", AVSIS est spécialisée dans la fourniture de machines de dépôt en continu
Exemple d'application: le dépot sous vide en continu sur film mince polymère


ISYTECH procédés dans le domaine des applications plasma à basse pression ISYTECH -
- 9 rue Bienvenüe, 22300 Lannion, France

Patrick Chollet, email, Tel.

ISYTECH est la nouvelle désignation commerciale de la société M.E.S Bretagne après sa sortie du groupe SIDEL en Octobre 2003.
Produits:   Procédés plasma à basse pression

développement de procédés dans le domaine des applications plasma à basse pression
conception et commercialisation d'équipements plasma destinés à l'industrie et à la recherche.

Applications: préparation et finition de surface, greffage plasma, gravure, polymérisation assistée par plasma, dépôt de couches barrières ou fonctionnelles.


TECMACHINE HEF TECMACHINE Groupe HEF -
- ZI Sud, rue Benoît Fourneyron, 42166 Andrezieux-Boutheon, France

Robert RICARD, email, Tel.

TECMACHINE, société en charge de la production d’équipements au sein de HEF® Groupe, développe et fabrique les installations de dépôts sous vide.
Produits:   Machines de dépôts sous vide

Equipements couvrant aussi bien les besoins de laboratoire ou de développement que ceux d'unités de production de grande série ou à grand volume et dotés de systèmes de haute technologie - pompage, automatisation, contrôle des procédés et sécurité : Technologie PEMS™, Modes PVD, PACVD et mixte PACVD / PVD en standard, Décapage efficace et homogène du substrat, OES (Optical Emission Spectroscopy) pour un contrôle du flux de gaz réactif, Contrôle indépendant du flux d’ions et de l’énergie des ions pour l’obtention des propriétés optimales des dépôts, Système multi-chambres, Changement rapide des cibles (matériau à déposer), Contrôle par ordinateur et facilité d’opérations,..


PLASSYS équipements pour le dépôt et la gravure des couches minces (photo: Dépôt PECVD par source ICP downstream) PLASSYS SA -
- 14 rue de la gare, 91630 Marolles-en-Hurepoix, France

email, Tel.

PME créée en 1987 et installée en région parisienne par une équipe d'ingénieurs spécialisés dans les technologies du vide, des couches minces et des plasmas réactifs. La direction générale de la société est assurée par Patrick SMUTEK, spécialiste des plasmas réactifs et des techniques radiofréquences. Il est assisté par Thierry BESSOT qui est responsable de la division Câblage Industriel.
La société PLASSYS a pour activité principale la conception et la fabrication d'équipements pour le dépôt et la gravure des couches minces. Elle met ses compétences au service des centres de recherche publics et privés. Elle réalise, en outre, des systèmes de production dans le domaine des couches tribologiques.
Produits:   Machines de dépôts sous vide

Les lignes de produits correspondent aux techniques d'évaporation sous vide, de pulvérisation cathodique, de dépôt par plasma, de gravure par plasma, de décapage ou délaquage par plasma et d'usinage ionique.
Les domaines d'application des machines PLASSYS sont ceux rencontrés en technologie des semiconducteurs, des supraconducteurs, des capteurs, des couches tribologiques, des couches optiques ...




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