Trockenlaufende Vakuumpumpen

Trockenläufer wurden mitte der 80er Jahre für die Halbleiter-Industrie entwickelt und Anfang der 90er Jahre in der Chemie eingeführt. Sie werden in der Feinchemie (GMP), um eine Kontamination des Produkts zu vermeiden, eingesetzt.

Es sind mehrstufigen Wälzkolbenpumpen oder Schraubenverdichter oder Klauenpumpen.

SIHIdry (Schraubenspindel) Northey (Klauenpumpe)


Anwendungen:
Saugvermögen bis ca. 1000 m³/h
Endvakuum < 1 mbarA

- Möglichkeit der Druckregelung durch Drehzahlregelung
- Kompakt
- guter Wirkungsgrad
- keine Kontaminierung durch Öl oder sonstige Betriebsflüssigkeit

Vor- und Nachteile:

ohne Betriebsflüssigkeit = ohne Schmier-, Dicht- und Kühlflüssigkeit
=> keine Schmierung => keine Berührung der Teile => Spalten
=> keine Dichtflüssigkeit => Enge Spalten und/oder hohe Geschwindigkeit
=> keine Kühlung => hohe Temperaturen

* Engespalten + hohe Temperaturen => Gehäuse nur aus Grauguß
* Gastemperaturen => "hot spot"-Gefahr, T3 ist Standard, T4 möglich aber aufwendig(er).

ohne Betriebsflüssigkeit = keine Kontaminierung
=> keine Kontaminierung vom gepumten Medium
      => Dämpfe werden am Auslass kondensiert und rückgewonnen.
=> keine Kontaminierung der Betriebsflüssigkeit, vom Öl, Treibdampf
      => keine Aufbereitung- bzw. Entsorgung-Sorgen

Trockenläufer - FAQ's

Ölfreie, trockenlaufende Vakuumpumpen Hersteller


mehr als ca. 1000 m³/h ?
=> mit Wälzkolbenpumpe kombinieren

Abdichtung zwischen Förderraum und Getriebraum ?
=> mit Kolbenringe oder Gleitringdichtungen, mit/ohne Sperrgas

Korrosion vermeiden ?
=> Betriebstemperatur höher als Produkt-kondensationstemperatur.
=> vor dem Betrieb mit geschlossenen Schieber vorheizen, danach heiße Pumpe mit N2 spülen.
=> Auslass Leitung nach unten bzw. Siphon, damit Kondensat sich nicht in der Pumpe ansammeln kann.

ATEX Zulassung ?
=> SIHIdry: JA, sogar ohne Flammensicherungen zum fordern von Gasen der Katerogie 2 (von Ex-Zone 1 in Ex-Zone 1)
=> BUSCH COBRA: JA, mit Flammensperren für Zone 0 und Zone 1.

Drehzahlregelung ?
=> Durch Drehzahlregelung werden Regelventile überflüssig